粒子计数器模块精准监测微粒污染降低静电和微粒污染对微电子行业危害

2024-06-11 14:22

静电对于微电子行业危害极大，静电荷带来了静电放电的破坏(和相关的电磁波干扰)和静电吸附所引至的微粒污染问题，对电子工业制程来说电子厂对静电的防护是非常严格的。

静电的产生是因为每一种材料的电子能级不同，两种不同材料在接触时会发生电荷转移。由于静电的负面效应，使得保持高水准的产品质量和产品良率更加困难。随着器件微型化和精细化进程的加快，高密度的集成电路的图形特征尺寸和表面沉积层的厚度都已经降到微米级别，更容易受到微粒的影响，基板表面微粒沉积，易引起基板点缺陷甚至线缺陷特性不良，降低良品率。

微粒污染相对来说是环境问题，微粒掉下可能是静电吸附，也可能是地心吸力,也可能是随机漂到。要令静电吸附成为主因，把微粒吸向和黏附在表面，微粒的大小和表面的静电荷有关。下图比较: 在距离, 地心吸力，随机漂移扩散，和由静电荷所形成的静电场,以强度200 V/cm为例，对不同大小的微粒，所做成的沉降速度。

在控制静电损害的同时，也要重视对于微粒的监测，保证生产环境的洁净度。通过实时监控微粒的变化参数，如果微粒超标可以及时发现，采取针对性措施进行防控改善，以减少落在芯片和设备表面的微尘粒子，降低因为微粒本身和静电微粒吸附（ESA）造成的产品损坏，提高良率。工采网的一款particlesplus粒子计数器模块OPC粉尘模块- 9301P-OEM的检测范围达30个颗粒物计数通道，粒径尺寸覆盖03um到25um,流速为0.1CFM (2.83LPM) 。

该组件安装在一个易于集成的板子上，包含颗粒物传感器、颗粒物计数板、集成真空泵及带预前后过滤的流形、带备用电池的实时时钟/日历,数据记录和存储达65000个样本记录，通过3.3V UART通讯，工作电压范围为7~15VDC。Particles Plus9301P -OEM性能超过ISO 21501-4和JISB9921标准,确保符合板载脉冲高度分析仪。

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