微粒污染
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粒子计数器模块精准监测微粒污染降低静电和微粒污染对微电子行业危害
静电对于微电子行业危害极大，静电荷带来了静电放电的破坏(和相关的电磁波干扰)和静电吸附所引至的微粒污染问题，对电子工业制程来说电子厂对静电的防护是非常严格的。 静电的产生是因为每一种材料的电子能级不同，两种不同材料在接触时会发生电荷转移
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